19ÀÏ ¾÷°è¿Í Á¤ºÎ ºÎó µî¿¡ µû¸£¸é ÀϺ» Á¤ºÎ´Â ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀڷκÎÅÍ ÁÖ¹®¹ÞÀº Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® »ý»ê¾÷üÀÇ ¼öÃâ Çã°¡ ½ÅûÀ» ¶Ç ÇÑ ¹ø ¹Þ¾Æµé¿´´Ù.
¾Õ¼ ÀϺ»Àº Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ 3´ë ÇÙ½É ¼ÒÀç(Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹塤Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ®¡¤°í¼øµµ ºÒ»ê) ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ ¹ßÇ¥Çϰí ÇÑ ´Þ¿© ¸¸ÀÎ ÀÌ´Þ ÃÊ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» óÀ½ Çã°¡ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. À̹ø °ÇÀº ´ë·« 6°³¿ù Ä¡ ¹°·®ÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ƯÈ÷ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °úÁ¤¿¡¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °ÍÀ¸·Î °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò¿Í´Â ´Þ¸® ±º»ç Àü¿ë °¡´É¼ºÀÌ °ÅÀÇ ¾ø´Ù. ¶§¹®¿¡ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ ÇÒ ¸íºÐÀÌ ¾ø´Ù´Â ºñÆÇÀ» ¹Þ¾Ò´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â ÀϺ»ÀÌ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇÑ °ÍÀ» µÎ°í À̸¦ ºÒÈ®½Ç¼º ÇØ¼Ò·Î ÆÇ´ÜÇϱâ´Â ¹«¸®¶ó´Â ÀǰßÀÌ Áö¹èÀûÀÌ´Ù. Àϰ¢¿¡¼´Â ¿À´Â 21ÀÏ Áß±¹ º£ÀÌ¡¿¡¼ ¿¸®´Â ÇÑÀÏ ¿Ü±³Àå°ü ȸµ¿À» ÀǽÄÇÑ Çຸ¶ó´Â ÇØ¼®µµ ³ª¿Â´Ù.