반도체용 실리콘·레이저 소자 등/새 합성 제조기술 개발

반도체용 실리콘·레이저 소자 등/새 합성 제조기술 개발

입력 1996-07-17 00:00
수정 1996-07-17 00:00
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◎「무접촉」 방식… 결정순도 1백배 향상/국제특허 출원… 일·독에 수출도 추진

고부가가치의 합성 광물을 자동으로 성장시킬 수 있는 새로운 장치가 개발됐다.

한국자원연구소는 16일 중소기업인 은성기연(주)과 공동으로 3년간의 연구끝에 반도체용 실리콘,레이저 다이오드 소자 등 고순도·고기능 첨단소재를 만들 수 있는 무접촉방식의 결정성장 자동화장치를 개발했다고 발표했다.

광상연구부 장영남 박사팀이 개발한 이 장치는 단결정이 성장하는 과정에서 단결정의 순간무게변화를 주파수 형식으로 변환시켜 공정을 연속적으로 제어할 수 있도록 해주는 센서와 컴퓨터 프로그램 등으로 구성돼 있다.특히 이 장치는 결정이 형성된 정도를 적외선 센서로 감지하는 「무접촉」방식을 실현,무게 변화를 저울로 측정하는 종래의 접촉식 방식에 비해 정확하고 안정성 높은 공정 제어가 가능하도록 돼 있다.이에 따라 성장된 결정의 순도와 균질도가 종래보다 최고 1백배까지 향상된 광물을 합성할 수 있는 것으로 밝혀졌다.

단결정 성장은 인공적인 방법을 통해반도체용 실리콘,갈륨 아세나이트,TV,VTR 필터용 소재인 초음파 발생용 결정,그린 레이저 발생원 등 미래형 단결정을 합성하는 고부가가치 기술이다.국내에서는 삼성전자,LG전자,POSCO 등이 대부분 수입된 단결정 성장장치를 사용하고 있다.

연구팀은 이번 장치 개발과 관련,일본 등 3개국에 국제특허를 출원할 계획이며 은성기연(주)을 통해 일본·독일 등에 수출 협상도 추진하고 있다고 밝혔다.〈신연숙 기자〉
1996-07-17 12면
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