국내 연구진이 소비전력을 획기적으로 줄일 수 있는 테라비트(Tb:1Gb의 1000배)급 고집적 실리콘반도체 논리회로의 핵심기술인 ‘낸드 및 노어회로 온칩 나노집적공정 기술’을 세계 최초로 개발했다.
충북대 최중범 교수 연구팀은 16일 자체 개발한 10㎚급 실리콘 단전자 소자(SET:Single Electron Transistor) 제작기술을 기반으로 세계 최초로 웨이퍼 상에 낸드(NAND) 및 노어(NOR) 논리회로 집적공정에 성공했다고 밝혔다.
이번에 개발된 단전자 낸드·노어회로는 1비트의 정보를 처리하는 데 단 하나의 전자만을 활용해 기존 반도체보다 전력소모를 획기적으로 줄였다. 반면 회로의 수를 줄여 집적도를 크게 높였다.
과기부는 최 교수 연구팀의 테라급 단전자 논리회로 기술이 한국이 특히 취약한 비메모리 기술 부문에서 이룬 업적이라는 점에서 의미가 크다고 밝혔다.
연구팀은 “앞으로 메모리와 결합한 시스템온칩 등의 차세대 반도체 신기술에 적용한다면 모바일 통신기기 등 새로운 나노소자 시장창출이 가능할 것”이라고 기대했다.
이영표기자 tomcat@seoul.co.kr
2006-11-17 29면
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