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하이닉스반도체는 동우화인켐과 공동으로 구리배선 공정에 적용되는 구리 연마용 슬러리(Slurry)를 국내 최초로 개발했다고 4일 밝혔다.반도체 제조공정 중 웨이퍼 표면에 불필요하게 형성된 구리박막을 평탄하게 연마하기 위한 핵심 재료다.