웨이퍼 장비 세계 1위 기업 CEO
“삼성·SK가 요청, 함께 기술 협력”
화성에 혁신센터… 생산도 확대

글로벌 반도체 시장이 올 하반기부터 반등할 것으로 전망되는 가운데 ‘톱티어’(최상위)급 반도체 장비 기업들이 한국 투자를 강화하고 있다. 미국의 중국 규제로 대외 경영 불확실성이 커지자 반도체 제조 강국인 한국을 글로벌 경영의 거점으로 삼아 삼성전자와 SK하이닉스 등 종합반도체기업(IMD)과 함께 성장한다는 전략이다.

네덜란드 반도체 장비 업체 ASM은 23일 서울 강남구 조선팰리스 호텔에서 기자간담회를 열고 1억 달러(약 1300억원) 규모 투자를 포함한 한국 사업 전략 등을 소개했다. ASM은 반도체의 원판인 웨이퍼가 전기적 특성을 갖도록 가공하는 ‘증착 공정’ 장비를 생산하는 기업으로, 이 분야에서 세계 1위 매출 규모와 기술력을 갖췄다. 첨단 공정 필수 장비인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 네덜란드 기업 ASML의 모태 기업이기도 하다.

벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)는 간담회에서 “한국은 우리가 보유한 글로벌 거점 중 유일하게 플라스마 원자층 증착(PEALD) 제품 생산과 연구개발(R&D)이 가능한 곳”이라면서 “1억 달러를 추가로 투자해 2025년까지 경기 화성에 제2제조연구혁신센터를 신설하고 R&D센터와 생산 기지 규모도 확장할 것”이라고 밝혔다.

PEALD는 웨이퍼에 원자 단위 깊이의 산화막을 형성하는 공정으로, ASM은 2019년 화성 동탄에 화성캠퍼스를 설립해 해당 기술과 장비를 개발하고 생산하고 있다.

한국을 미국, 싱가포르와 함께 자사의 ‘3대 핵심 허브’로 꼽은 로 CEO는 한국 투자 확대 배경으로 “글로벌 상위 10개 기업 중 2개가 한국 기업이고 이 두 회사 모두 우리의 고객사”라면서 “한국 기업들은 메모리든 로직이든 우수한 기술력을 보유했기 때문”이라고 설명했다. 그는 이어 “고객사 측의 설비 투자 요청도 있었다”고 덧붙였다.

아울러 로 CEO는 “한국은 고숙련 인재 풀이 풍부하다는 강점도 있다”면서 “우리는 한국 반도체 기업과 긴밀히 협력하고 있으며, 앞으로도 업계 기술 발전을 위해 협력을 이어 나갈 것”이라고 강조했다.

ASM에 앞서 ASML도 한국에 대한 투자를 확대하고 있다. ASML은 화성에 한국 지사 사옥과 부품 재제조시설 등을 신설하는 ‘화성 클러스터’ 사업을 진행하고 있으며, ASML 코리아는 최근 용인에 노광장비 관련 기술을 전수하는 글로벌트레이닝센터를 열었다.