나노미터(10억분의1m)까지 위치 제어가 가능하고 구조가 간단한 소형 리니어 모터가 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국과학기술연구원(KIST) 박막재료연구센터 윤석진(尹錫珍) 박사팀은 4일전기를 가하면 수축과 팽창이 일어나는 압전 세라믹의 단순 진동을 선형으로 바꾸는 독창적인 구조를 적용,나노미터 단위까지 정밀제어가 가능한 압전리니어 모터를 개발하는 데 성공했다고 밝혔다.

리니어 모터는 반도체 제조장비,정밀광학 제어장치,정밀공작기계 제작 등직선운동을 필요로 하는 산업 전반에서 폭넓게 사용되고 있지만 모터의 회전을 직선운동으로 바꾸기 위한 별도의 장치가 필요하기 때문에 부피가 크고전력소모가 많은 단점이 있다.

이번에 개발된 압전 리니어 모터는 기존의 정밀위치제어용 압전 리니어 모터에 비해 10배 정도 우수한 4나노미터 수준의 위치제어 정밀도를 갖고 있으면서도 1초에 40㎝를 이동할 정도로 빠르다. 특히 초음파(주파수 20㎑ 이상) 교류전원으로 구동,작동 중 발생하는 소음이 매우 적고 속도와 위치를 자유자재로 제어할 수있는 장점이 있다고 연구팀은 소개했다.

함혜리기자 lotus@